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聊城大學(xué)有機(jī)蒸發(fā)及電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)采購(gòu)信息

招標(biāo)文件下載
信息發(fā)布日期：2012.12.21 標(biāo)簽：
招標(biāo)編號(hào)：LDSZ2012-32
加入日期：2012.12.21
截止日期：2012.12.28
招標(biāo)業(yè)主：聊城大學(xué)
地 區(qū)：聊城市
內(nèi) 容：項(xiàng)目名稱：有機(jī)蒸發(fā)及電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
 
招標(biāo)公告正文
采購(gòu)編號(hào)：LDSZ2012-32
項(xiàng)目名稱：有機(jī)蒸發(fā)及電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
聊城大學(xué)現(xiàn)就理工學(xué)院所需鍍膜設(shè)備進(jìn)行招標(biāo)，誠(chéng)邀具備本類設(shè)備生產(chǎn)銷售資質(zhì)，在中國(guó)境內(nèi)注冊(cè)，注冊(cè)資金不低于50萬(wàn)元的企業(yè)前來投標(biāo)報(bào)價(jià)。（以下為項(xiàng)目說明，請(qǐng)投標(biāo)方仔細(xì)閱讀）
一、投標(biāo)文件的組成
1、投標(biāo)書包括：
(1) 投標(biāo)函；
(2) 開標(biāo)一覽表（用于唱標(biāo)）；
(3) 投標(biāo)產(chǎn)品價(jià)格表；須報(bào)出每件產(chǎn)品的單價(jià)及總價(jià)；
(4) 投標(biāo)書附件（投標(biāo)方視需要自行編寫）；
(5) 設(shè)備清單，應(yīng)包括設(shè)備的品牌、詳細(xì)規(guī)格型號(hào)、技術(shù)指標(biāo)、生產(chǎn)廠家、生產(chǎn)地址等；
(6) 投標(biāo)產(chǎn)品偏離文件；
(7) 投標(biāo)方認(rèn)為必須的其他文件。
2、資格證明文件包括（均需加蓋公章）：
(1) 執(zhí)照、稅務(wù)登記證書、組織機(jī)構(gòu)代碼等（原件審查，復(fù)印件留存）；
(2) 法人代表授權(quán)書、投標(biāo)代表身份證明（招標(biāo)方留存）；
(3) 投標(biāo)方情況表（簡(jiǎn)介）；
(4) 產(chǎn)品鑒定證書（復(fù)印件）；
(5) 生產(chǎn)許可證、代理授權(quán)證明；
(6) 投標(biāo)產(chǎn)品獲優(yōu)、獎(jiǎng)等證書（復(fù)印件）。
3、投標(biāo)報(bào)價(jià)
(1)所有國(guó)產(chǎn)設(shè)備均以人民幣報(bào)價(jià)，所有進(jìn)口設(shè)備均以美元或歐元報(bào)價(jià)。報(bào)價(jià)表中的價(jià)格應(yīng)包括設(shè)備到位前的全部費(fèi)用，除進(jìn)口設(shè)備外貿(mào)代理費(fèi)和商檢費(fèi)用以外，招標(biāo)人不另行支付中標(biāo)金額以外的其他任何費(fèi)用；
(2)投標(biāo)單位應(yīng)按招標(biāo)方提供的要求，計(jì)算各項(xiàng)設(shè)備或工程項(xiàng)目各種費(fèi)用的單價(jià)和總價(jià)。項(xiàng)目清單中的每一單項(xiàng)均需計(jì)算填寫單價(jià)和總價(jià)，投標(biāo)單位沒有填寫單價(jià)和總價(jià)的項(xiàng)目招標(biāo)方將不予認(rèn)可，并認(rèn)為此項(xiàng)費(fèi)用已包括在工程清單的其它單價(jià)和總價(jià)中；
(3) 最低報(bào)價(jià)不能作為中標(biāo)的保證；
(4) 所報(bào)價(jià)格一般應(yīng)為所提供產(chǎn)品的最終價(jià)格；
(5)詳細(xì)設(shè)備清單見附件。
4、投標(biāo)文件的簽署及規(guī)定
(1) 投標(biāo)方應(yīng)填寫單位全稱，同時(shí)加蓋單位公章；
(2) 投標(biāo)文件必須由法人代表或授權(quán)代表簽署；
(3) 投標(biāo)文件的正本必須打印或用碳素墨水填寫；
(4) 投標(biāo)文件因字跡潦草或表達(dá)不清所引起的一切后果由投標(biāo)方負(fù)責(zé)；
(5) 投標(biāo)文件應(yīng)裝袋密封，封口處應(yīng)有投標(biāo)授權(quán)代表的簽字及投標(biāo)單位公章。封皮上寫明投標(biāo)方名稱，投標(biāo)聯(lián)系電話***
5、資格證明文件袋內(nèi)裝資格證明文件。封皮上寫明投標(biāo)單位全稱，并注明“資格證明文件”。
6、投標(biāo)時(shí)須交納投標(biāo)保證金，未隨附投標(biāo)保證金的投標(biāo)將被視為無(wú)效投標(biāo)；中標(biāo)單位的投標(biāo)保證金轉(zhuǎn)為履約保證金，在合同執(zhí)行完畢后無(wú)息退回；未中標(biāo)單位的投標(biāo)保證金在招標(biāo)結(jié)束后當(dāng)場(chǎng)退回。在招標(biāo)過程中出現(xiàn)任何違反招標(biāo)規(guī)則的行為，招標(biāo)方將有權(quán)扣留違規(guī)單位的投標(biāo)保證金。
7、所有投標(biāo)文件必須提交電子文檔一套。（現(xiàn)場(chǎng)提交）
二、開標(biāo)及評(píng)標(biāo)
1、開標(biāo)
(1) 招標(biāo)方主持開標(biāo)；
(2) 投標(biāo)方代表參加開標(biāo)儀式，并根據(jù)招標(biāo)方要求介紹本單位規(guī)模、生產(chǎn)能力、工藝性能及售后服務(wù)；
(3) 對(duì)投標(biāo)文件的初審
初審內(nèi)容包括：投標(biāo)文件的密封是否完好，是否符合招標(biāo)文件的要求，內(nèi)容是否完整，價(jià)格構(gòu)成有無(wú)計(jì)算錯(cuò)誤，文件簽署及驗(yàn)證是否齊全等。
2、評(píng)標(biāo)
評(píng)標(biāo)嚴(yán)格按照招標(biāo)文件的要求和條件進(jìn)行，比較報(bào)價(jià)，同時(shí)考慮以下因素：
（1）產(chǎn)品質(zhì)量、性能、樣式，是否符合招標(biāo)方要求；
（2）投標(biāo)單位的規(guī)模、實(shí)力、信譽(yù)、承諾；
（3）技術(shù)力量及后續(xù)維修服務(wù)；
（4）交貨及安裝竣工時(shí)間；
（5）近年來為其他較大用戶的配置情況及產(chǎn)品的質(zhì)量和售后服務(wù)情況；
（6）招標(biāo)方可根據(jù)實(shí)際情況分項(xiàng)確定中標(biāo)單位。
3、中標(biāo)方須知
(1) 招標(biāo)方經(jīng)綜合比較后，確定中標(biāo)方。宣布中標(biāo)后，投標(biāo)方如有毀約或轉(zhuǎn)包者，其投標(biāo)保證金不予退回；
(2) 中標(biāo)方應(yīng)按中標(biāo)通知書規(guī)定的時(shí)間、地點(diǎn)與招標(biāo)方簽訂中標(biāo)經(jīng)濟(jì)合同，并交納履約保證金。不能履行合同者履約保證金不予退回；
(3) 招標(biāo)文件、中標(biāo)方的投標(biāo)文件及評(píng)標(biāo)過程中有關(guān)澄清文件均應(yīng)作為合同附件。
4、招標(biāo)方評(píng)標(biāo)小組如認(rèn)為所有報(bào)價(jià)文件均不符合采購(gòu)文件要求，則有權(quán)停止本次采購(gòu)活動(dòng)，否決所有報(bào)價(jià)，重新進(jìn)行招標(biāo)。
5、不做落標(biāo)解釋。
6、開標(biāo)時(shí)間：2012年12月28日上午8:30；
開標(biāo)地點(diǎn)：東校辦公樓B502招標(biāo)室；
標(biāo)書遞交地點(diǎn)及截止時(shí)間：標(biāo)書（正本1份、副本2份）于2012年12月28日上午8:00—8:20遞交至東校區(qū)辦公樓B306，同時(shí)交納標(biāo)書費(fèi)300元和投標(biāo)保證金5000元，逾期不再受理。
7、聯(lián)系電話***
聯(lián)系人***
附件：
序號(hào) 設(shè)備名稱 指標(biāo)要求 數(shù)量
1 
單室有機(jī)熱蒸發(fā)真空鍍膜機(jī) 1、真空度≤7X 10-5帕，具有較快的抽速，真空室檢漏率≤5X10-8Pa.L/s
2、不銹鋼蒸發(fā)基片托，可容納4片Φ30mm樣品，樣品可以上下升降，運(yùn)動(dòng)范圍0—80mm，樣品可加熱控溫，溫度范圍為從室溫到600℃，可調(diào)可控。樣品可由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)CF35磁力轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)，轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)。轉(zhuǎn)速：1---30RMP
3、有機(jī)蒸發(fā)源6套，預(yù)留2套接口，采用束源爐式加熱蒸發(fā)結(jié)構(gòu)，6套溫度控制系統(tǒng)采用程序控溫表閉環(huán)反饋。束源爐單獨(dú)工作。溫度可調(diào)節(jié)，范圍：室溫--800℃連續(xù)可調(diào),溫度控制精度±1℃。
   每個(gè)束源爐上可分別安裝一段長(zhǎng)為30mm、50mm、80mm的過渡接管，以便調(diào)節(jié)蒸發(fā)源與樣品間的距離。
4、掩膜擋板一套，可實(shí)現(xiàn)原位更換。
5、總體安裝臺(tái)架選用優(yōu)質(zhì)鋼型材，焊接成，快卸圍板表面噴漆處理；機(jī)臺(tái)表面用不銹鋼蒙皮裝飾四只腳輪，可固定，可移動(dòng)。
6、各電源具有斷水保護(hù)功能。
7、水流報(bào)警系統(tǒng)（1套）：用來對(duì)分子泵、真空室、電子槍、膜厚儀等進(jìn)行冷卻，在水路上安裝有水流繼電器，一旦缺水或水流不足，將進(jìn)行報(bào)警并切斷相應(yīng)電源，以防止損壞設(shè)備。
配套設(shè)備：
膜厚儀（1套）
1、監(jiān)測(cè)膜厚顯示范圍：0~99μ9999Å；
2、厚度分辨率：1Å；
3、 速率顯示分辨率：0~9999.9 Å；
4、 控制精度：1 Å；
5、 監(jiān)測(cè)時(shí)間顯示范圍：1分~99小時(shí)；
水冷機(jī)（1套）：
1、制冷量：5KW
2、水溫控制范圍：15-30℃；
3、控溫精度：±0.5℃；
4、水壓：0.15-0.25MPa ；
5、流量：3-6m3/h。 1
2 
電子束蒸發(fā)與電阻蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng) 1、 極限真空度：≤6.6x10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；系統(tǒng)真空檢漏率：≤5.0×10-7 Pa.l/S；
2、 真空室為U型箱體活開門結(jié)構(gòu)，四壁水道冷卻，壁掛防污板，選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造
3、 旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)
基片尺寸：可放置4″基片；基片加熱最高溫度 800°C±1°C，由熱電偶閉環(huán)反饋控制；基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5～60轉(zhuǎn)/分，電機(jī)驅(qū)動(dòng)磁耦合機(jī)構(gòu)控制；基片與蒸發(fā)源之間距離300～350mm可調(diào)。
    4、離子轟擊系統(tǒng)                                          
轟擊電源：電壓3000V,電流160mA，用于清洗樣品表面。
5、電阻蒸發(fā)源                                             
2個(gè)蒸發(fā)舟，蒸發(fā)控制電源1套，可相互切換，蒸發(fā)電源電壓5、10V，電流300A，最大輸出功率3Kw；
  6、電子槍及電源                                          
270°E型電子槍及高壓電源，電子槍功率0—6 KW可調(diào)；電子槍陽(yáng)極電壓：6kv、8kv；電子束可二維掃描調(diào)節(jié)，最大掃描正負(fù)15mm（X，Y），備有遙控盒, 可手持遙控操作掃描；水冷式坩堝：四穴坩堝，每個(gè)容量約為11 ml，手動(dòng)切換；具有高壓滅弧自動(dòng)復(fù)位功能。
  7、安裝機(jī)臺(tái)架組件                                          
優(yōu)質(zhì)方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理； 機(jī)臺(tái)表面用不銹鋼蒙皮裝飾；四只腳輪，可固定，可移動(dòng).
8、水流報(bào)警系統(tǒng)（1套）：用來對(duì)分子泵、真空室、電子槍、膜厚儀等進(jìn)行冷卻，在水路上安裝有水流繼電器，一旦缺水或水流不足，將進(jìn)行報(bào)警并切斷相應(yīng)電源，以防止損壞設(shè)備。
配套設(shè)備：
膜厚儀（1套）：
1、監(jiān)測(cè)膜厚顯示范圍：0~99μ9999Å；
2、厚度分辨率：1Å；
3、速率顯示分辨率：0~9999.9 Å；
4、控制精度：1 Å；
5、監(jiān)測(cè)時(shí)間顯示范圍：1分~99小時(shí)；
水冷機(jī)（1套）：
1、制冷量：8KW
2、水溫控制范圍：15-30℃；
3、控溫精度：±0.5℃；
4、水壓：0.15-0.25MPa ；
5、流量：3-6m3/h。 1
3 除濕機(jī) 1、 除濕面積：≥70平方米，除濕量：≥70L/天；
2、 旋轉(zhuǎn)式壓縮機(jī)，制冷劑：R22；
3、后吹式進(jìn)風(fēng)口，上吹式出風(fēng)；
4、溫度范圍：5-40℃，環(huán)境溫度低于18℃自動(dòng)化霜。 1
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